陀螺仪是一种用来检测物体旋转量的惯性传感器。自最早的转动式陀螺发展至今,MEMS振动式陀螺以其体积小、质量轻、成本低和功耗低等优点,被广泛用于航天、军工和消费电子等领域。多环振动盘式微陀螺由于其良好的对称性以及平面化的结构,在近年来取得了较大的研究突破,并获得了广泛关注。本论文对多环振动盘微陀螺的基本结构以及工作原理进行了研究和说明,提出了金属结构的多环振动盘微陀螺。本文对金属结构多环振动盘微陀螺在玻璃基片上制作的关键技术进行了研究,设计并实现了在低温环境下低成本加工镍结构多环振动盘微陀螺的加工工艺。本文在现有多环振动盘式微陀螺的研究基础上,设计了金属结构多环振动盘微陀螺,并且运用有限元方法对金属振子的振动特性进行了动力学仿真分析,验证了金属多环振动盘微陀螺的可行性。然后设计了镍结构多环振动盘微陀螺的加工工艺以及掩模版,运用了电镀等微加工工艺制作金属振子结构及牺牲层,成功制得镍结构多环振动盘微陀螺。本文研究的金属结构MEMS微陀螺采用成本较低的电镀工艺制作,工艺温度低。最后本文在LabVIEW开发环境下设计了金属结构多环振动盘微陀螺在力平衡工作模式下的闭环数字检测和控制电路。仿真结果以及陀螺芯片的加工过程验证了镍结构多环振动盘微陀螺和金属多环振动盘微陀螺的加工工艺等关键技术的可行性。