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该文首先简要介绍了化学气相沉积金刚石薄膜研究的历史与现状,然后着重介绍了作者在HFCVD系统上进行的实验研究.在金刚石场发射特性的实验研究上已达到国际领先的阶段.
金刚石在异质衬底上的化学气相沉积及其场发射特性的研究
【摘 要】
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该文首先简要介绍了化学气相沉积金刚石薄膜研究的历史与现状,然后着重介绍了作者在HFCVD系统上进行的实验研究.在金刚石场发射特性的实验研究上已达到国际领先的阶段.
【机 构】
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中国科学院物理研究所
【出 处】
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中国科学院物理研究所
【发表日期】
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1997年期
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