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磁悬浮轴承由于具有一系列独特的性能,被称为是支承技术的一场革命。在磁悬浮系统中,传感器检测的转子位移信号是控制器对轴承进行主动控制的依据,是整个系统研究的重点和难点之一。本文主要目的是:针对普通涡流位移传感器应用于磁悬浮转子位移测量时所面临的问题,如:各传感器采用独立的振荡源,各通道传感器信号循环采样,各通道都有信号调理电路而且与传感器分离等,设计能够准确有效检测转子动态位移的检测系统。在介绍涡流位移传感器的基本理论的基础上,分析了传感器探头线性特性、温度特性、动