采用8个自制旁热式ZnO基气敏传感器和6个Figaro公司商用传感器(TGS),在变湿度环境下对不同浓度的6种可挥发性有机物(VOCs)进行了测试。探讨了金属氧化物(MOS)气敏传感器的气敏性能受环境湿度影响的变化规律,发现随着湿度增加,除了传感器基线电阻减小和对还原性气体敏感度降低之外,传感器对还原性气体的响应恢复速度也增大了。并且在0%RH-30%RH湿度变化所引起的传感器基线电阻及灵敏度的下降程度大于30%RH-60%RH和60%RH-90%RH湿度变化引起的下降程度。本文通过分析反应机理对上述现象进行了解释。同时,利用传感器气敏特征对6种VOCs气体进行了识别。识别过程中,对比了稳态特征和动态特征受湿度影响的程度,同时也比较了在湿度变化条件下稳态特征和动态特征的识别效果。结果表明采用稳态和动态特征联合识别的方法识别率可达100%,且对各类气体聚类清晰。利用丝网印刷技术制备了Bi2O3和Cu2O掺杂的ZnO基厚膜型气敏传感器阵列,并进行了稳定性测试,分析了气敏传感器基线电阻及灵敏度的稳定性,比较了不同的掺杂及烧结工艺对稳定性的影响。结果显示,传感器稳定性较差;掺Cu2O的气敏传感器稳定性优于未掺Cu2O的气敏传感器;700℃烧结的气敏传感器的稳定性优于600℃烧结的气敏传感器。