【摘 要】
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表面形貌的表征一直是材料科学、地质学及生物医学等领域的研究热点,物品表面形貌的好坏能直接影响到使用寿命、系统性能等,因此在对样品进行表面表征时,要求测量准确,样品表
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表面形貌的表征一直是材料科学、地质学及生物医学等领域的研究热点,物品表面形貌的好坏能直接影响到使用寿命、系统性能等,因此在对样品进行表面表征时,要求测量准确,样品表面的特征无损伤。近几年微纳技术迅猛发展,对表面微观形貌的尺度表征的精度需求也与日俱增。扫描探针显微镜(SPM)是作为新型高分辨率显微镜已成功吸引人们眼球,在微纳检测中占主导地位。但是由于在扫描测量的过程中,探针会参与其中,这样一来,所测得的图像并不是样品表面真实形貌的反应,是探针和样品耦合作用所得。因此,为达到精准测量的目的,提出了通过估计探针模型来重构图像的方法。本文对目前应用广泛的探针建模方法——盲重建法进行阐述。主要针对盲重建算法的基本原理、运算机制等进行阐述,并应用其算法进行模拟成像及图像重构实验。通过仿真实验证明了算法的可行性及重构图像修复能力,并应用盲重建算法得到探针模型,以此模型对图像重构,得到较精确的特征尺寸。
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