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航空航天、导航与制导等应用领域,对加速度计的漂移、测量精度要求越来越高。基于硅-玻璃键合和ICP刻蚀的体硅加工工艺,在MEMS器件加工中被普遍采用。但是,由于硅结构和玻璃衬底热膨胀系数很难完全匹配,当外界温度变化时,会产生较大的热应力,引起加速度计输出发生温度漂移,严重影响加速度计的测量精度。为此,本课题面向姿态控制等领域对高性能低G值加速度计的应用需求,提出一种带有应力隔离结构的扭摆式电容加速度计结构,开展其结构设计、加工与封装、检测电路、系统测试等研究,对减小加速度计温漂,提高加速度计测量精度具