p型透明氧化物CuCrO<,2>薄膜的制备与性能研究

被引量 : 3次 | 上传用户：gnaixug

【摘要】

：

透明氧化物半导体(TOS)是一种在可见光区域具有良好的透光性,并且导电性优异的光电材料,由于具备这两个特性,被广泛应用于电子工业领域。根据导电特性的不同分为n型与p型两类。目前n型TOS已经被广泛应用,而p型TOS相对缺乏。本文根据价带化学修饰理论,以p型铜铁矿结构的CuCrO2薄膜为研究对象,采用磁控溅射技术制备CuCrO2薄膜,摸索出薄膜制备工艺,通过二价离子受主掺杂改善薄膜的导电性,研究了厚

【作者】

：

李杨超

【机构】

：

北京工业大学

【发表日期】

：

2010年05期

【关键词】

：

p型透明氧化物半导体铜铁矿结构磁控溅射 CuCrO2 光学与电学性能

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