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随着表面等离子体光子学和纳米技术的发展,光与金属微纳结构之间的相互作用而产生的表面等离子体共振特性已成为一个研究热点,其在生物医疗、材料科学与光电传感器件等领域有着广泛的应用前景。而经过金属光栅结构调制的表面等离子体共振效应,常常被人们利用来研究光与金属周期性结构之间的相互作用。论文基于前人的研究成果,结合成熟的硅加工及金属剥离工艺,优化设计了一种具备Fano共振的金属V型光栅等离子共振结构。论文基于有限元分析法,利用COMSOL Multiphysics仿真软件对这种V型光栅共振结构进行建模,通过