【摘 要】
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微驱动、定位技术是当今世界各国研究的热点问题,是纳米测量及加工技术中的关键技术之一,而微位移致动器则是微驱动、定位系统中的重要组成部分。压电陶瓷致动器是目前微位移技术中比较理想的驱动元件,它的出现开创了精度进入纳米级的新时代。本文研究的课题是:回转式微动压电电动机及其驱动电源的研究。其主要内容和创新点包括:1、系统地介绍了压电陶瓷的性能参数、压电元件等内容。2、着重阐述了回转式微动压电电动机的运动
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微驱动、定位技术是当今世界各国研究的热点问题,是纳米测量及加工技术中的关键技术之一,而微位移致动器则是微驱动、定位系统中的重要组成部分。压电陶瓷致动器是目前微位移技术中比较理想的驱动元件,它的出现开创了精度进入纳米级的新时代。本文研究的课题是:回转式微动压电电动机及其驱动电源的研究。其主要内容和创新点包括:1、系统地介绍了压电陶瓷的性能参数、压电元件等内容。2、着重阐述了回转式微动压电电动机的运动原理、柔性铰链的基本概念、直圆单
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