电容式传感器具有结构简单、灵敏度高，对辐射和高温等恶劣条件适应性强、价格便宜等一系列优点。但是，电容式传感器动态精度低、信号调理电路部分的输出信号受干扰和温度影响较大、输出特性存在非线性等问题都制约了电容式传感器的生产及应用。 现有的ACCUSTAR倾角传感器的使用效果都不尽如人意，ACCUSTAR倾角传感器的实际使用精度一直上不去。究其原因主要在于两个方面：一是对传感器本身的特性了解不够，对于传感器的物理缺陷没有很好的认识，使用中没有对它进行任何改进；二是有些用户虽然通过实践了解到了该传感器使用精度不高的症结，但是在数据采集时把采到的每一个数据当成了最终结果，没有把采集的数据作为整体看待，因而也就没用相应的误差处理方法对采集的数据作进一步的修正，故而精度不高。 本课题研究了此倾角传感器的具体特性，从实验数据着手，先是分析了传感器本身的物理缺陷，描绘出了它的非线性特征曲线，并制定了专门修正它的线性拟合修正法；其次是在使用前，在检测现场对传感器进行了调零和定标，并且对实验现场的环境进行了改善。在解决了上面两个问题后，通过实际采样得出了一系列数据后，又对此数据分别进行了三种方法的误差处理，即基于正态分布的求算术平均值法、最小二乘法、神经网络法，基本解决了传感器的非线性误差问题和检测结果的随机误差问题。