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微流控芯片技术是一种在微米甚至纳米尺度的低微通道结构中控制体积为皮升甚至纳升的流体进行流动并传质、传热的技术,是工程、物理、化学、生物、纳米技术等众多学科交叉的技术领域。目前,微流控芯片的制备主要使用光刻工艺来保证微米级的尺寸精度,而光刻工艺环节众多,操作和制备手段极其复杂且繁琐。本课题组提出了微流控芯片的快速批量化制造,而模具是工业中批量化制造的最佳方案,因此在金属材料上加工出形貌规则的微结构至关重要。材料微结构的制备主要使用了微细加工技术,包括精密机械加工、电火花加工、微细电解加工、LIGA技术