ZnO和AZO薄膜的制备及特性研究

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近年来,氧化锌(ZnO)作为一种新型的直接宽禁带半导体材料,受到了众多研究学者的关注。室温下ZnO的禁带宽度为3.37eV,这一特性使其具有出色的短波长发光能力。ZnO具有高达60meV的激子束缚能且激子在室温下可以稳定存在,因此,ZnO是制备室温紫外激光二极管(LDs)的理想材料。此外,ZnO还具有优良的光电、压电、气敏特性等。在ZnO众多的研究热点中,因为ZnO:Al(AZO)薄膜是优良的透明导电材料,有广泛的用途,故AZO薄膜备受关注。溶胶-凝胶法(sol-gel)制备AZO薄膜,影响薄膜质量
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