激光刻蚀聚酰亚胺基底金属薄膜的温度场研究

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为了提高卫星的通讯能力和满足轻质化的需求,目前常在卫星上装有一类轻质天线反射器,这类天线反射器是在聚合物基底上镀制金属薄膜(或者按照一定规律排布、具备特定表面功能的高精度金属薄膜图案)。为了实现对这类材料组合进行金属薄膜的高精度加工,并且还能够使得聚合物基底不受到损伤的目的,常采用镀膜结合激光刻蚀技术的方法进行制备。但由于聚合物和金属材料在热物理性能方面存在很大的差异,因此在实际的激光刻蚀过程中,还需要对很多技术问题开展仔细的研究。本文以广泛应用于天线反射器的金属薄膜/聚酰亚胺组合为研究对象,从热传
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