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近年来,回音壁微腔滤波器凭借其超高的Q值、超小的体积、超窄的带宽等优点而被广泛地应用于光纤通信系统和激光器系统中。为了提高光纤通信系统和激光器系统在实际应用中的灵活度和自适应能力,需要对回音壁微腔滤波器的波长进行调谐。本文利用飞秒激光、拉锥及机械研磨等微加工方法,制备了基于光纤和铌酸锂晶体的可调谐回音壁微腔滤波器,通过改变回音壁微腔的尺寸和折射率实现波长的调谐,论文的主要内容包括:(1)基于柱状回音壁谐振腔的模式理论及耦合理论,利用时域有限差分法仿真耦合间距对回音壁模式耦合状态、谐振腔折射率和尺寸对回音壁模式谐振波长以及模场分布的影响。分析表明回音壁微腔的谐振波长随着微腔半径或者微腔折射率改变而发生漂移。(2)利用飞秒激光微加工方法制作了一种基于D型光纤耦合的回音壁模式结构,实验结果表明该耦合结构形成的回音壁微腔滤波器具有高达20d B的消光比、较好的稳定性。同时可将D型光纤和回音壁微腔集成到基底上,并通过微加工方法控制D型光纤与回音壁微腔的耦合间距,实现集成化、物理强度高、Q值高、可实际应用的可调谐回音壁微腔滤波器。利用该耦合结构的优势,制备了直径渐变的机械可调回音壁微柱滤波器及电热可调回音壁微管滤波器。机械可调回音壁微腔滤波器的调谐是通过改变谐振腔的半径来实现的;电热可调谐回音壁微腔滤波器的调谐是通过对电热丝外加电压从而改变谐振腔的折射率和尺寸来实现的。(3)利用飞秒激光和机械研磨两种微加工方法制备铌酸锂回音壁微腔滤波器,实验测试飞秒激光加工的回音壁微盘滤波器Q值低且不稳定,机械研磨加工的铌酸锂回音壁微盘滤波器Q值较高。从理论上和实验上对铌酸锂回音壁微腔滤波器的电光调谐和热光调谐进行研究,为后续将铌酸锂回音壁微腔与D型光纤固定到基底上,制备集成式、可实用化的可调谐铌酸锂回音壁微腔滤波器打下基础。