中性束注入（Neutral Beam Injection）加热技术能够显著提高核聚变装置中的等离子体参数，被国际聚变界公认为是最有效的加热手段之一，在一些大型聚变装置，诸如PLT、TFTR、JET、NSTX上都有成功的应用，国际聚变工程试验堆ITER上也将采用此种加热方式。NBI低温抽气系统的性能及其内部的压力分布特性是影响NBI系统稳定实验运行的关键因素。文章基于NBI系统的工作原理和结构特点，根据HT-7装置NBI系统稳态实验运行对真空抽气系统的技术要求，分析NBI系统内各部分的气源和压力分布特性，构建了以低温冷凝泵为主泵的NBI差分式低温抽气系统和以分子泵为主泵的辅助抽气系统。建立了主真空室三维立体模型，运用ANSYS软件对模型进行了相关力学分析，结果证明，主真空室满足NBI系统实际工况下的强度要求。经NBI系统试运行实验，对低温抽气系统抽速（对H₂）、极限真空、抽气容量（对H₂）、低温抽气面温度、降温时间以及残余气体成分等进行了测量，获取了低温抽气系统各项性能参数的相关实验数据，运用origin、matlab软件分析了离子源、主真空室和漂移管道的压力分布。结果表明，所设计的NBI低温抽气系统降温、回温过程均匀平稳，降温时间短，极限真空度高，动态真空稳定，满足HT-7中性束注入系统稳态实验运行对真空品质的要求。