电火花定长补偿方法被证明为加工微细三维型腔的很有效的方法。在加工过程中电极会形成锥形,然而电极变成锥形的机理还并不清楚,且影响电极几何形状的影响因素也很模糊,同时会导致所加工微细型腔底面并不能形成理想意义上的平面而是存在残余。因此本文对微细电火花定长补偿方法下锥形电极形成进行仿真研究,并用实验进行验证,此外还研究了此方法下的平面加工方法。文章首先建立了电火花定长补偿方法的几何仿真模型,分别针对关键加工参数、放电点搜索、及材料蚀除模型进行了建模,并利用MATLAB进行仿真分析,在模型中详细介绍了工件及电极的几何建模方法,定长补偿方法仿真的过程,最后利用仿真结果进行了误差分析,结果表明仿真结果与理论值很吻合。依据仿真模型,进行了实际实验验证,在该部分中,先后介绍了在电极的制备过程,加工实验的过程,以及实验结果的分析,并将实验结果与仿真结果进行对比分析,得到结论:仿真模型在一定分层厚度以内能够精确地指导加工实验的进行。利用经过分析验证的定长补偿方法进行微细型腔第一层第二步平面加工的方法及实验探究。详细探究分析了在分层加工中第一层第二步加工去除第一步加工后的残余凸起时最佳分层厚度。为后续的多层加工提供了更为精确地加工方案及加工参数。