本文密切结合磨削技术的发展，研究MSG-612CNC-FA精密数控平面磨床的应用工艺。MSG-612CNC-FA精密平面磨床是三井高科技公司为了提高精密模具的制造精度、降低工人劳动强度、提高生产效率而研制开发的，可实现平面、沟槽和直线成形曲面的磨削加工，最小进给可达0.1μm，在模具的精密超精密加工中有着重要的实用意义和广泛的应用前景。 本文主要是在MSG-612CNC-FA精密平面磨床上，针对普通钢的直线成形曲面磨削和2种硬脆材料ELID精密平面磨削进行研究。作者作了以下研究工作： (1)单斜边砂轮磨削直线成形曲面的磨损规律。分析了砂轮磨损前后对直线成形曲面的成形影响和表面质量的影响。研究表明，砂轮尖角半径在0.1mm左右时，磨损造成的形状误差较小，表面粗糙度较低。 (2)研究了砂轮速度、磨削深度、工件速度等磨削参数对直线成形表面粗糙度的影响规律。在MSG-612CNC-FA精密平面磨床上，采用单斜边砂轮对横截形状为直线、圆弧和2次幂曲线的直线成形曲面进行了磨削实验，磨出廓形误差7μm，表面粗糙度达到Ra0.103μm的复合曲面样件。 (3)对MSG-612CNC-FA精密平面磨床进行了改装，使其具备ELID精密磨削的功能。并利用改装后的机床分别对PCD材料和氧化铝陶瓷进行ELID精密平面磨削，分析了PCD材料和氧化铝陶瓷的ELID磨削机理，研究出砂轮速度对磨削比和表面质量的影响规律，并提出推荐的磨削工艺参数。加工出的PCD样件表面粗糙度达到Ra0.127μm，氧化铝陶瓷样件的表面粗糙度达到Ra0.078μm。