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本文利用MonteCarlo方法模拟了俄歇电子能谱中信号的产生和发射过程，从而对定量俄歇电子能谱分析中的重要参数——背散射因子作了新的计算。新的计算中揉合了表面电子能谱分析领域中近年来所有相关的重要进展，即采用新的背散射因子的定义式，MonteCarlo模型中采用更为准确地描述非弹性散射过程的介电函数理论和更为精确的内壳层激发截面。而且，基于新定义式下的MonteCarlo计算结果的统计误差很小。该研究目的是为定量俄歇电子能谱分析提供一个更系统和更精确的背散射因子数据库。