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EMMO TFT在交流应力下的可靠性研究
【摘 要】
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非晶铟镓锌氧化物(Amorphous Indium-Gallium-Zinc Oxide,a-IGZO)薄膜晶体管(Thin-Film Transistor,TFT)是面向有源显示的TFT技术中的一个重要研究方向。在实际的工作中,a-IGZO TFT不仅会受到直流电应力的作用,还会承受开关切换或信号变化等交流电应力的作用。在本文中,我们对传统的a-IGZOTFT与抬高金属型金属氧化物(Elevat
【出 处】
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苏州大学
【发表日期】
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2019年01期
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