【摘 要】
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随着精密和超精密加工技术的发展,微位移控制技术在精密机械、微电子、生物工程等多种学科得到了广泛的应用,因此,微位移控制技术的研究越来越被人们所重视.论文介绍了微位移
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随着精密和超精密加工技术的发展,微位移控制技术在精密机械、微电子、生物工程等多种学科得到了广泛的应用,因此,微位移控制技术的研究越来越被人们所重视.论文介绍了微位移驱动技术的发展概况,分析了电致伸缩陶瓷微位移控制技术的发展趋势,提出了采用闭环控制的方式,解决电致伸缩陶瓷微位移器的蠕变、滞回和位移-电压非线性的思想,设计研制了闭环控制电致伸缩陶瓷微位移驱动系统.在系统的软件设计中,微进给子程序是整个系统软件的核心,系统在运行时,通过调用微进给子程序完成系统的位移精度控制.在微进给子程序中,通过适时监控反馈控制的算法,实现系统的控制精度.
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