【摘 要】
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电子束曝光机系统是微电子工业和微细加工研究与开发不可缺少的大型精密设备。图形发生器是该系统中的一个核心部件。本论文介绍了图形发生器通信接口的实现以及数模／模数转换
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电子束曝光机系统是微电子工业和微细加工研究与开发不可缺少的大型精密设备。图形发生器是该系统中的一个核心部件。本论文介绍了图形发生器通信接口的实现以及数模／模数转换器的设计。 论文简单介绍了USB1.1(Universal Serial Bus)协议，主要介绍了基于USB1.1协议的图形发生器通信接口的软件编程的实现方法。 论文中介绍了模数转换器的设计方案，设计方案以ADI公司的模数转换芯片AD9223为核心，根据电子束曝光机背散射信号的特点设计了合理的前端放大器和驱动电路及基准源。模数转换器的输入模拟电压范围：0—2V；结构简单，电路稳定可靠；接口控制简单，具有良好的扩展性。 论文详细介绍了数模转换器的设计，包括以DAC1146芯片为核心的主D／A的设计和以LTC1597芯片为核心的旋转D／A、位移D／A、增益D／A的设计。
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