【摘 要】
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随着超大规模集成电路和微机械器件在各个领域的广泛应用,传统制造加工技术已无法满足产品微型化、制造快速化、成本低廉化的发展要求.目前广泛研究的激光诱导化学液相沉积技
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随着超大规模集成电路和微机械器件在各个领域的广泛应用,传统制造加工技术已无法满足产品微型化、制造快速化、成本低廉化的发展要求.目前广泛研究的激光诱导化学液相沉积技术成为解决这一瓶颈问题的重要手段.激光作为一种高密度热源诱导化学液相沉积,其作用机理是热化学氧化还原反应.影响因素除装置精度、检测手段和加工方式外,还与激光功率、扫描速率、扫描次数、溶液浓度以及溶液厚度有关.该文主要用单因素分析法和对比分析法对Nd:YAG脉冲激光在普通玻璃表面正面和背面液相沉积铜线的影响因素、沉积机理和镀层元素分布情况进行了研究.正面沉积时,随激光功率增大,沉积出的铜线越宽;随扫描速率加快,沉积出铜线的宽度先变宽后变窄.背面沉积时,随激光功率增大,沉积出的铜线越宽;随扫描次数增加,沉积出铜线的宽度和厚度逐渐加宽加厚;随扫描速率加快,沉积出铜线的宽度逐渐变窄.同种工艺条件下背面沉积较正面沉积影响因素少,加工过程稳定,铜线质量好.此外,还进行了激光诱导化学液相沉积、普通化学镀、普通法加热镀的对比试验,经SEM检测和能谱分析发现,激光诱导液相沉积出的铜层致密连续、颗粒分布均匀、沉积速率高.用激光诱导液相沉积技术可以无需掩模印刷线路板,大大简化了工艺过程,还提高了布线密度.而基于二维沉积的LCLD&RP技术则是目前研究制造三维微小金属零件的新方法.
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