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在微机电系统(MEMS)中,当微结构尺寸减小到微米量级后,其力学和物理性能表现出与块体结构不同的特性,具有一定的尺度效应。由于静电驱动微梁常作为驱动结构,因此对其尺度效应的研究具有重要意义。本文主要分析了静电驱动器中常用机构悬臂梁和两端固支梁的静、动态中体现的尺度效应。首先,分析微梁的吸合效应现象,建立其临界电压和临界挠度的数学模型,并运用ANSYS中的直接耦合法—TRANS126降阶单元,建立微梁的机电耦合模型,得出了几何结构参数对微梁吸合效应的影响。其次,基于微梁在变时载