二维激光扫描系统中大工作面f-θ透镜设计

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f-θ透镜是二维激光扫描系统中的一种关键的具有特殊要求的透镜,二维激光扫描系统包括激光打标机、激光打印机、激光打孔机等精密设备。本论文研究了超大视场大工作面f-θ透镜和大工作面变焦f-θ透镜的光学设计。采用望远镜结构,利用视角放大率增大扫描角,得到了超大视场900f-θ透镜。运用物像交换补偿变焦原理,结合f-θ镜设计了大工作面变焦f-θ透镜。将衍射光学应用到光学设计中,很好地校正了两f-θ透镜的轴外点像差。本论文从初级像差理论出发,分析了f-θ透镜中存在的主要像差。求解PW表示的初级像差方程组得到f-θ透镜的初始结构参数。利用ZEMAX光学设计软件,结合f-θ透镜的像差要求,建立合理的优化函数,优化后得到了超大视场大工作面f-θ透镜和大工作面变焦f-θ透镜。设计结果表明:所设计的两种大工作面f-θ透镜具有相对畸变小、能量集中度高和像面相对照度分布均匀等优点,聚焦性能能够达到衍射极限。本论文主要论述了:(1)阐述了f-θ透镜的特性,通过引入负畸变使得像高与扫描角成线性关系。介绍了f-θ透镜中存在的主要像差,要校正像差,透镜应采用分离镜片结构,且应使透镜中尽可能多的镜面弯向光阑。(2)利用望远镜的视角放大率这一特性增大扫描角,得到了超大视场900f-θ透镜。采用折/衍混杂设计,可以更好地校正像差。建立合理的优化函数对该透镜进行优化,得到了适合二维激光扫描系统的f-θ透镜。(3)将变焦原理应用到f-θ透镜的光学设计中,采用物像交换补偿系统,设计得到了像质优良、具有衍射受限的变焦f-θ透镜。
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