随着电子器件的集成化和小型化程度增大,电子设备呈现出越来越高的热流密度,这极大地影响电子设备的性能和寿命。因此,发展高效的先进散热技术极为必要和迫切。微通道液冷冷板技术具有高效、紧凑、噪声小等特点,可以在相对紧凑的区域中提供较大的散热能力,是目前电子散热领域应用最为广泛的技术之一,其中微通道冷板是微通道液冷散热系统的关键构件。铜由于其优良的导热性能,是最常用的微通道冷板材料之一,其表面性质严重影响散热系统的性能。但目前尚未见有不同表面处理技术对微通道铜液冷冷板表面性质及性能影响的系统研究。针对上述问题,本文系统考察了四种表面处理技术——清洁处理、钝化处理、等离子体处理、化学修饰处理对微通道铜液冷冷板表面性质和性能的影响。采用场发射扫描电子显微镜（FE-SEM）、X射线衍射技术（XRD）、X射线光电子能谱（XPS）、红外光谱（FTIR）等技术表征了经不同技术处理后铜表面的形貌、结构和组成,利用原子力显微镜（AFM）和接触角测量仪（CA）考察了经不同技术处理后铜表面的粗糙度和润湿性。通过传热实验、电化学实验及表面分析评估了经不同技术处理后铜液冷冷板的散热能力、耐蚀性及稳定性。基于性质表征和性能测试结果,初步建立了铜液冷冷板表面性质和性能的关联。主要工作如下:（1）分别采用清洁处理（#1）、钝化处理（#2）、等离子体处理（#3）、化学修饰处理（#4）四种技术处理铜液冷冷板表面,表征结果显示:#1样品表面平整,无微观精细结构,有少量自然氧化物存在,粗糙度约为19.43 nm,水冷液在其表面接触角为42.0°;#2样品表面较为平坦,无微观精细结构,表面形成了Cu（I）-BTA钝化层,粗糙度略微增大至26.88 nm,水冷液在其表面接触角为73.3°;#3样品表面引入含氧的亲水基团,微观形貌呈现纳米片阵列结构,粗糙度进一步增大至35.47nm,水冷液在其表面接触角降为9.8°,表现为超浸润。#4样品表面形成了低表面能的硬脂酸铜团聚物,微观形貌呈现团簇结构,粗糙度进一步增大至71.20 nm,水冷液在其表面接触角增大为102.7°。（2）搭建传热装置,考察了不同技术处理后铜液冷冷板的散热能力,计算得出了不同技术处理后铜液冷冷板的传热系数,分别为1295 W/（m~2·K）、1589 W/（m~2·K）、2019 W/（m~2·K）和1661 W/（m~2·K）,其中#3等离子体处理后的铜冷板传热系数最大、散热能力最佳。电化学测试结果显示,#4化学修饰处理后的铜冷板在水冷液中的耐蚀性最好,其次是#2技术处理后的样品,而#3技术处理后的样品的耐蚀性较差。化学稳定性测试结果表明,#1、#2和#4技术处理后的样品表面形貌、组成和粗糙度变化很小,表现出优异的稳定性,而#3样品表面有Cu2O生成,形貌和粗糙度变化稍大。（3）基于上述性质表征和性能测试结果,初步建立了铜液冷冷板表面性质和性能的关联:表面粗糙度和润湿性对于冷板散热能力有重要影响,表面粗糙度增加,有助于增大水冷液与冷板的接触面积,从而提高散热能力;对水冷液超浸润的铜表面,由于亲水改性增强了固液相互作用,散热能力会更强。表面化学组成对于冷板的耐蚀性和稳定性有重要影响,钝化层和低表面能物质的存在有助于提高冷板的耐蚀性和稳定性。因此,可以通过不同的表面处理技术调控铜液冷冷板微通道表/界面的性质进而改善冷板的性能。