【摘 要】
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红外增透膜和高反射膜是应用非常广泛的薄膜元件。就目前为止,其主要应用在天文,空间探测,激光探测,光纤通信系统等领域。本文简要介绍了红外薄膜的应用,具体针对工作波长400
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红外增透膜和高反射膜是应用非常广泛的薄膜元件。就目前为止,其主要应用在天文,空间探测,激光探测,光纤通信系统等领域。本文简要介绍了红外薄膜的应用,具体针对工作波长400nm到12um,实现400-700nm高透射,1000-1600nm高反射,8-12um高透射,根据薄膜设计的基本理论设计并优化膜系,根据所要求的波段选择合适的基底和高低折射率材料。由于涉及的波段范围较宽,对设备和控制手段提出更高的要求。试验在700箱式真空镀膜机(TXX700-2型)上完成,采用光控为主,晶控为辅的控制手段,并且利用离子辅助来改善膜层的牢固度。用UV3100PC分光光度计和傅里叶红外光谱仪测试光谱特性曲线。通过不断的修改工艺参数使多波段宽光谱膜系得以实现。并给出最终设计曲线及实测曲线。
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