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光功率分配器作为光通信系统与光信息处理系统中的关键器件，一直是人们研究的重点。本文以Silicon-on-Insulator(SOI)大截面脊形波导为基础，研制了四种不同结构的功率分配器。
文章采用有效折射率方法(EIM)及波束传播方法(BPM)设计了SOI大截面脊形单模波导，并以此为基础，分别研制了四种基于SOI脊形波导的、不同结构的功率分配器，即1×4Y分支型功率分配器、1×4多模干涉型功率分配器、2×4耦合型功率分配器和1×4反射型功率分配器。实验表明，这四种功率分配器都可以很好的实现功率分配的功能，其中的1×4反射型功分器更是具备了Y分支的输出均匀性好和多模干涉功率分配器结构紧凑的优点。