电磁阵列检测技术采用多个检测单元检测,仅通过一次扫描就能够实现大面积区域检测,同时又能够保持高分辨率,并且结果能够成像显示,有利于提高检测效率和性能,具有重要的应用价值。电磁阵列检测技术关键在于阵列式传感器的设计和制备,近年来,针对复杂形状零部件的电磁无损检测需求,小型化、阵列化、柔性化和高灵敏度的电磁阵列式传感器成为研究热点。传统柔性电路板工艺由于加工精度的限制,制造的阵列式传感器检测单元的小尺寸和多匝数难以同时满足,使得检测高灵敏度和高空间分辨率无法兼得。针对这个问题,本文提出了一种采用新型纳米压印工艺制备的平面阵列式柔性电磁传感器,可以适用于复杂金属试件的表面微缺陷检测。论文首先分析了平面阵列式电磁传感器检测机理;然后通过建立平面阵列式涡流传感器的有限元仿真模型,分析了检测线圈匝数、激励线圈厚度、绝缘层厚度等结构参数对传感器灵敏度的影响,根据分析结果确定了传感器的结构参数;其次开展了柔性平面阵列式电磁传感器的印刷电子工艺制备研究,制作了传感器样品;最后搭建了实验平台,对柔性阵列式传感器样品进行了性能测试,结果表明设计制作的阵列式传感器达到了微缺陷定量检测的需求,可以应用于装备的无损检测。论文的研究成果为复杂表面微缺陷的电磁阵列定量检测与评估提供了理论及器件支撑。