论文部分内容阅读
类金刚石碳薄膜(DLC)因为具有良好的耐磨性、化学惰性和生物相容性,被认为是最具有发展前景的人工关节表面改性材料。然而,较大的残余应力会引起薄膜服役过程中膜基结合失效,从而导致关节植入体的功能失效。DLC薄膜掺杂非碳化物金属元素可以有效地降低薄膜残余应力,提高膜基结合力。而银掺杂DLC(Ag-DLC)薄膜由于其良好的生物相容性和抗菌性,在人工关节表面改性方面具有巨大的应用前景。本论文首先采用高功率脉冲磁控溅射(HPPMS)技术,在Ar/C_2H_2气氛中,通过调节Ar流量,对DLC薄膜的微观结构进行