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旨在提高引线键合设备的效率和质量,本文以高速精密定位平台为研究对象,提出了一种新型两自由度直线电机定位平台结构,研究了其结构设计以及静动态特性,搭建了定位平台机械系统与控制系统样机。论文主要研究工作如下:将机械设计理论与实际应用相结合,提出了一种两自由度新型高速精密XY定位平台结构,该定位平台由直线电机直接驱动,并采用新型弹性解耦机构实现了X、Y方向的运动解耦。根据各项性能指标要求,选择合适的基础零件及加工材料,使定位平台具有尺寸小、质量轻、刚度高,结构紧凑和调试方便等特点,有效保证了定位平