该文在研究等倾干涉的基础上,通过分析得出了法布里—琅罗干涉仪的基本特性和法布里—琅罗干涉仪对应阶跃、正弦电压调相的透射光强公式.在此基础上,根据实际测量对象的要求,设计了双法布里—珀罗干涉仪.系统中采用两个初始结构完全相同的法布里—珀罗干涉仪其—作为参考干涉仪,其二作为传感干涉仪,把微位移的测量转换成双法布里—珀罗干涉仪透射光强基波等幅值时间间隔的测量.系统消除了环境干扰.使得系统在微位移测量中达到纳米级精度.在系统中利用数字图像处理技术,分析干涉条纹图像蕴涵的特征信息;采用分区直方图调整法,根据干涉条纹图的实际情况设置分区大小,进行直方图调整、图像平滑、锐化处理,然后经过二值化、细化、整形等处理,可得到平滑、断点少、无分叉的单像素干涉条纹图,为后续的被测物理量反演打下良好基础,最后给出通过计算多条条纹移动获得被测对象微位移量的计算公式.该研究中将系统用于压电陶瓷的微位移测量,并设计了系统实现的实验装置,得到压电陶瓷的一次压电系数.该文还介绍了He-Ne激光器,信号发生器,功率放大器等仪器.文中最后对压电陶瓷非线性压电效应对测量系统的影响和双法布里—珀罗干涉测量造成的误差进行了具体的分析.