随着精密加工、精密测量装备的日益发展,其对工作环境的要求越来越高,微振动是影响加工、测量精度的重要因素,而主动减振技术是抑制振动的重要手段。本文依托国家科技重大专项,根据精密设备的工作需求,对主动减振系统中振动抑制的控制机理展开研究,设计嵌入式控制器实现精密主动减振功能。首先,本文根据精密主动减振系统机械结构建立了动力学模型,通过振动模态理论实现了六自由度振动解耦,将系统复杂振动模型分解为六个相互独立的振动模型。确定了减振性能指标,完成了主动减振控制系统的整体架构设计。其次,针对地基振动引起的负载平台振动,研究了地基振动反馈控制模型,推导了控制参数与系统动力学参数的等效转换机理,通过绝对速度反馈抑制了谐振峰值。为了提升低频隔振性能,提出了地基振动的传递路径模型,设计了地基振动前馈控制算法,实现了低频隔振。针对负载平台上存在的定频定域直接扰动,提出了定频定域扰动测量模型,准确捕捉了定频扰动的作用位置。提出了定频扰动反馈控制模型,设计了定频扰动抑制算法,在保证隔振性能和控制系统稳定性的基础上,实现了台面定频扰动的抑制。针对减振系统定位性能要求,研究了振动抑制过程中的定位控制机理,设计了气路环和电机环定位算法,实现了减振系统的精密定位。针对减振控制算法方便实现的应用要求,提出了通用形式的IIR数字滤波器模型,确保了控制算法的便捷实现。接着,针对减振系统超低频抑振的性能要求,对地音传感器进行了低频扩展研究,设计电路实现了传感器信号调理,保证了低频振动测量信号的高信噪比。针对减振系统高精度、高响应速度的控制要求,设计了具有硬件电流环的洛伦兹电机驱动电路,该电路具有高带宽、高频段快速衰减的特性,保证了执行器输出高精度、低延时的驱动力。构建了减振系统嵌入式控制器的核心主控单元,实现了高速高精度运算和多通道信号并行处理。针对减振控制软件强实时性的要求,提出了嵌入式实时操作系统μC/OS-II的改进方法,从而实现了强实时任务与弱实时任务的剥离,保证了振动控制任务的绝对优先级。对软件任务进行了划分,实现了多任务并行处理,保证了软件处理的高效性。最后,搭建了精密主动减振平台,在垂直方向进行气路定位测试,在水平方向进行电机定位测试,在时域和频域两个方面进行减振性能测试,实验验证了主动减振控制算法的有效性和嵌入式控制器的可靠性。