【摘 要】
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为给研究军用模拟IC抗HPM设计技术奠定基础,开展了MOS器件的HPM响应研究。本课题以某研究所典型军用MOS器件0001和0002为对象,采用直接注入法进行实验,研究其在HPM作用下的失
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为给研究军用模拟IC抗HPM设计技术奠定基础,开展了MOS器件的HPM响应研究。本课题以某研究所典型军用MOS器件0001和0002为对象,采用直接注入法进行实验,研究其在HPM作用下的失效模式和失效机理,建立失效模型,通过对比分析HPM作用前后晶体管模型参数的变化,建立典型军用模拟集成电路器件HPM损伤失效模型,并进而基于器件物理原理和统计分析与优化设计,提出抗HPM辐射的工艺建议。本文还分析了测试仪器“精密度”对数据采集和模型参数提取的影响,提高了模型参数提取的精度。最后从栅的加固,结构上的加固及新材料应用三个方面,提出了HPM加固的方法途径。
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