小分子半导体涂布工艺及其薄膜晶体管器件应用的研究

来源 :上海交通大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:liongliong594
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
得益于有机半导体材料(organic semiconductor,OSC)机械柔韧性好、可低温溶液法制备、可大面积涂布加工以及可通过化学剪裁改善材料性能等特点,有机薄膜晶体管(organic thin-film transistor,OTFT)具有兼容耐温较差的柔性衬底(纸张、塑料等)、根据目标应用定制化成本低等优势,在柔性显示、可穿戴电子等应用方面有着巨大的潜力。OTFT具备信号转换与放大的能力,可与传感器集成构筑传感前端,将种类繁多的传感信号转换为统一的电学信号,同时在检测位点实现信号的原位放大获得更高的信噪比。为了满足传感前端应用多样化的定制需求,OTFT器件需要具备更短的设计到产品时间。因此,实现OSC薄膜的大面积高效制备,缩短所需的节拍时间,具有重要的意义。对比聚合物OSC材料,可溶性有机小分子OSC具有纯度高、批次可重复性好,以及迁移率高等优势,具有更高的应用前景。然而,由于小分子OSC材料的结晶性强,OSC薄膜的凝聚态结构对涂布工艺十分敏感,结晶成核与生长过程难以同时调控,从而导致在满足节拍时间需求的工艺条件下,大面积制备的OSC薄膜难以获得一致的结晶形貌。对此,本论文结合结晶形貌调控方法和涂布工艺的设计与发展,在大面积高效率涂布小分子OSC结晶调控方面实现了以下突破:1)对小分子OSC薄膜晶核位点的调控展开了研究,进一步阐述了通过调控晶核位点获得沟道区可控结晶形貌的物理机制,提出了接触诱导结晶方法。根据成核所需临界自由能与衬底表面特性的关系,通过采用自组装单分子层选择性地改变源漏电极表面特性,降低小分子OSC在源漏电极表面成核所需的临界自由能,从而实现了结晶位点仅分布在源漏电极上的有效调控。在此基础上,源漏电极上紧密排列的晶核位点对结晶生长方向的互相限制,在结晶自然生长的情况下,可以获得沟道区结晶方向与载流子传输方向基本一致的结晶形貌特征,实现了结晶晶核位点与结晶生长方向的同时调控。基于接触诱导结晶技术方法,进一步验证了小分子OSC涂布工艺的工艺参数对沟道区结晶形貌以及OTFT器件性能影响很小(包括涂布头与衬底表面距离、涂布速度、涂布方向等),有望解决大面积涂布小分子OSC薄膜由于局部工艺条件差异造成结晶形貌不可控、一致性较差的问题。2)对实际涂布过程中衬底表面受力进行了分析和研究,提出了降低衬底表面应力的软接触式涂布工艺,并论证了软接触式涂布工艺满足不破坏衬底表面结构和特性的应用需求。根据涂布过程中刮刀与衬底表面之间的应力分析,通过“合页式”的连接方式使得刮刀在涂布过程处于力矩平衡状态,可以有效降低衬底表面应力,在遇到衬底表面起伏时可绕连接处转动,从而避免破坏衬底表面结构与特性。通过不仅对微弱压力信号检测灵敏度高,还具备宽压力检测范围的柔性压力传感阵列,证明了软接触式涂布工艺在涂布过程中对衬底表面的低应力(~220 Pa),远小于其他接触式涂布工艺。结合所发展的接触诱导结晶技术方法,采用软接触式涂布工艺涂布小分子OSC薄膜并构筑BGBC结构OTFT器件,获得了电学性能优异的低电压OTFT器件,论证了软接触式涂布工艺大面积涂布小分子OSC薄膜的可行性,解决了大面积接触式涂布工艺对衬底表面应力过大,易破坏衬底表面结构或特性的问题。3)基于上述接触诱导结晶方法和软接触式涂布工艺,对大面积制备OTFT器件性能的一致性进行了研究。在不同衬底和不同电极工艺条件下,分别制备了OTFT器件阵列,实现了良好的器件性能一致性,阈值电压波动小于250 m V(在目前研究报导中最低)。作为器件性能一致性的另一种形式,通过不同沟道宽度的OTFT器件验证了器件性能的可拓展性,OTFT器件开态电流与沟道宽度之间呈现出良好的线性关系,并在3 V工作电压以内首次实现了开态电流大于100μA、开关比大于109的OTFT器件,器件的关态电流小于10-17 Aμm-1。该工作充分证明了接触诱导结晶方法和软接触涂布工艺,能有效解决大面积涂布小分子OSC薄膜由于局部工艺条件的差异而导致结晶形貌一致性较差的关键问题。4)基于上述所构筑的一致性高、可拓展性强的低电压OTFT技术,结合多通道传感前端的应用需求,提出了一种大面积高效制备定制化OTFT器件阵列并进行裁剪形成标准器件裸片,然后根据应用需求与合适的敏感材料集成构筑多通道传感前端的技术路线。基于Na+、K+、H+三种离子,实现了多通道传感检测应用系统,对技术路线进行了验证。本论文的研究揭示了小分子OSC薄膜结晶形貌调控的原理与方法,设计并实现了小分子OSC薄膜触式的大面积接涂布工艺,为多通道OTFT传感前端应用建立一些工作基础。
其他文献
膝骨关节炎(KOA)是多种原因引起的退行性、不可逆转的骨关节疾病,是中老年人的常见病、多发病,严重影响中老年患者的身心健康与生活质量,加重社会的医疗负担。该病的发病机制十分复杂,尚不完全清楚,具有难治性等特点。近年来,在中医基础理论的指导下,中医药在慢性复杂性疾病中被广泛应用,尤其在治疗膝骨关节炎中已突显巨大优势。众多医家认为“肝肾亏虚、痰瘀伏络”是膝骨关节炎病机演变的关键环节,本文结合中医学“络
期刊
将可再生的农作物茎秆用于建筑材料的开发,有望实现建筑物真正的可持续性。近年来,得益于优异的调湿性和保温隔热特性,大麻等植物秸秆混凝土受到广泛关注。通常,植物骨料混凝土(PAC)采用石灰和传统波特兰水泥作为胶凝材料。由于水泥的高碱性,植物骨料与水泥相容性差,由此产生诸多缺陷,如延长凝结时间、成核位点的污染及在碱性环境下植物颗粒的溶解等。因此,制备的PAC力学性能和耐久性较差。为更好地制备PAC,研究
学位
高比例可再生能源并网是未来电力系统的重要特征。含高比例可再生能源的电力系统呈现运行方式多样、转动惯量下降、输配潮流双向以及交直流混合输电等新特性,给输电网规划带来新的挑战。本文结合鲁棒规划与随机规划理论,旨在研究解决高比例可再生能源输电网规划中的安全稳定与可再生能源消纳问题,主要工作如下:(1)针对高比例可再生能源导致的电网运行方式多样,提出了内嵌海量场景静态安全约束的输电网鲁棒规划方法。通过快速
学位
混合式教学以满足学生的需求为中心,满意度成为衡量混合式教学效果的重要指标。以小学生发展与教育心理学课程为例,重点考察了混合式学习的学生满意度及其影响因素。根据顾客满意度基本理论构建混合式教学的学生满意度模型,该模型包括学生特点、教师特点、课程特点、系统功能特点四个维度和19个自变量。对调查数据的分析显示,其中有4个自变量显著影响混合式学习学生满意度,并以此为基础提出以学生为中心、系统为辅助的混合式
期刊
大规模电动汽车的充放电负荷可能会给电力系统的安全性和可靠性带来挑战。作为智能化负荷,考虑到电动汽车用户行为的随机性、对电网充电容量的影响、电池特性及实时电价的变化,研究电动汽车(EV)的智能化调度及充电定价算法具有重要意义。本文主要分为两个部分。第一部分,针对多时间断面、非线性、动态及外源时变输入向量,基于先进的最优自回归神经网络(NARX),分析电动汽车充电基础负荷预测的精确度问题。为验证NAR
学位
电力设备是电力网络的基础组成单元,电力设备的安全运行对电网的供电可靠性有着决定性的影响。针对电力设备运行状态的在线监测不仅能够及时监测设备中的各类异常电气量以及非电气量,而且可以对电力设备的运行状态进行全面、系统地分析,及早发现设备中潜在的故障,近年来已被广泛研究。基于声电传感阵列的电力设备在线监测方法具有覆盖范围广、监测效率高以及抗干扰性能强等优点,已在部分变电站中开展试点应用。然而在实际应用过
学位
互联网、电子商务、云计算、移动计算等技术的快速发展推动了大数据时代的到来,由此产生的信息过载问题严重地制约着人们对有效信息的获取。推荐系统的提出和应用,缓解了这一问题。事实上,广义的推荐系统已经被广泛运用于网购平台、新闻阅读、社区服务等场景,提升了用户体验,同时也为平台创造了价值。因此,推荐系统已经成为人工智能领域重要的应用之一。推荐算法的本质是基于对历史数据的学习,提供符合人们预期的物品。然而,
学位
本世纪以来,分布式测量技术的迅速发展,被称为测量技术的一次变革。将同一个高精度射频参考高稳定地分配给各个测量装置,实现各测量点之间的同步是分布式测量的核心技术。而利用光纤的低损耗、高带宽、抗电磁干扰等特性,实现频率参考信号的高稳定分配,成为该技术领域的研究热点。但是光纤的传输延时容易受到外界压力、温度变化等环境因素的干扰而发生变化,导致传输后的信号相位不稳定(或频率稳定度恶化),该问题成为利用光纤
学位
干眼是眼科常见疾病,临床上干眼患者常有不同程度的眼表疼痛症状。作为中医传统疗法之一,针刺常被用于本病的治疗且收效显著。近年来,随着络病理论发展,其在痛证的诊治过程中发挥着独特的指导作用。本文以络病理论为基础,探讨干眼眼表疼痛的针刺治疗,旨在促进络病理论的进一步发展,并为针刺治疗本病提供理论依据。
期刊
随着信息化技术的不断发展,一种基于线上线下的混合式教学模式深受教育界的关注。所以混合式教学是信息技术和教学改革的深度融合,本文从学生因素、教师因素、学校因素分析影响教学效果的主要原因,通过分析,提出可以借鉴的优化策略。为高职院校的混合式教学提供可借鉴的意义。
期刊