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静电驱动电容检测微机械陀螺式加速度器的力学分析

来源 :暨南大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：my888162

【作 者】

：

刁方印 

【出 处】

：

暨南大学

【发表日期】

：

2018年09期

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