【摘 要】
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采用自行研制的10kW、2.45GHz微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)装置,以重掺杂硅片为基底,氢气和甲烷为生长源、硼烷为掺杂源制备掺硼金刚石薄膜(BDD)。通过X射线衍射光谱(XRD)
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采用自行研制的10kW、2.45GHz微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)装置,以重掺杂硅片为基底,氢气和甲烷为生长源、硼烷为掺杂源制备掺硼金刚石薄膜(BDD)。通过X射线衍射光谱(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和拉曼光谱(Ramanspectrum)详细表征所得金刚石薄膜的结晶取向、表面生长形貌和结晶质量,比较制备过程中B/C对MPCVD生长金刚石膜材的影响。最后用所得金刚石膜作为工作电极,通过差分脉冲伏安法和差分脉冲阳极溶出伏安法分别检测Cr6+和U(Ⅵ),并分析待测液中pH及干扰离子对检测效果的影响情况。 结果表明: (1)随着B/C增大,B在金刚石膜中的掺入量增多,但晶粒间空隙增多,同时晶粒发育完整度下降,结晶质量变差。 (2)在B/C较低条件下制备的BDD电极,电极对Cr6+检测信号较弱,检测效果不理想;随B/C增大,电极检测信号强度明显增强,当B/C=0.006时信号最强;B/C进一步增大电极检测信号强度则会逐渐减小,检测效果变差。当B/C=0.006时,检测限最低可达到0.24nmol/L。 (3)BDD电极差分脉冲伏安法检测Cr+在pH=2附近时检测效果较好。加入干扰离子后,电极依然能够有效检测溶液中Cr6+。 (4)BDD电极差分脉冲阳极溶出伏安法检测U(Ⅵ)信号在0.13mmol/L-0.42mmol/L范围内呈线性,电极检测限达到2.7×10-5mol/L。而使用差分脉冲伏安法检测铀离子,检测限可达0.13umol/L。 (5)使用BDD电极作为工作电极通过差分脉冲阳极溶出伏安法检测U(Ⅵ)时,当pH值在5-6范围内电极检测信号较强,随pH降低,则检测效果会随pH值降低而变差。通过差分脉冲伏安法检测U(Ⅵ),pH值在4.5附近范围内电极检测信号较强。 (6)干扰离子影响存在情况下,BDD电极差分脉冲伏安法检测U(Ⅵ)抗干扰能力比差分脉冲阳极溶出伏安法检测U(Ⅵ)更强,受干扰程度更小。
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