PECVD设备研发项目计划与控制研究的目的是为了解决PECVD设备研发中经常遇到的工期延迟,费用大大超额,甚至导致最终项目终止等一系列不可预知的情况。现在中国半导体设备的研发经验缺乏,加上技术不过关,没有明确的计划与有效的控制,常常不能达到理想的效果,导致企业因为担心没有利润很少愿意做研发。本文为了解决这一问题,通过项目计划与控制理论知识对PECVD设备研发进行了详细计划并从进度、费用和质量上进行严格控制,以期项目能够理想顺利完成。本文从明确PECVD设备研发项目的特点开始,明确并细化项目目标,在进行项目计划与控制研究中,运用定性分析法和定量分析法系统地对项目整体进行计划与控制加以研究。本文通过甘特图和工作分解结构wBS等工具对PECVD设备研发进行工作分解、实施责权分配、最终确定进度安排,并用评审计划技术方法PERT对计划结果进行优化。对项目的控制方面,着重对进度、质量和成本进行了研究,赋予每项工作权重对项目进展进行分析,通过偏差分析表来进行进度控制,确定质量控制目标,从所有能影响质量的不同因素进行分析和控制来实现质量控制,通过挣得值分析法实现对费用的计算,并分析实施成本控制。