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自从原子力显微镜(AFM)诞生以来,其检测技术得到迅速发展,应用范围也日趋广泛。目前,原子力显微镜已成功的应用于物理、化学、金属、半导体、微电子、纳米材料、生物、生命科学等众多科学领域中。而且目前已经有人利用AFM的微悬臂梁做为传感器来检测生物化学反应,可以说AFM已经成为进行微观领域研究的重要工具。AFM微悬臂梁有三种工作方式:接触模式(Contact Mode)、非接触模式(Non-Contact Mode)和轻敲模式(Tapping Mode),由于轻敲模式对样品的损坏较小