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频率选择表面(frequency selective surface,FSS)是一种周期性平面二维阵列结构,其本质是一个空间电磁滤波器。当电磁波与FSS相互作用时,FSS会表现出明显的带通或带阻的电磁波透射特性。FSS拥有良好的频率选择和极化选择特性,能够有效控制电磁波的传输与反射。随着科技的不断进步与发展,频率选择表面已经越来越多的应用于微波、红外波及可见光波段领域。近些年,国内外的学者及研究机构对FSS进行了各种深入的研究与分析,人们对FSS各种特性的认识也越趋完善。本文对频率选择表面进行了以下的研究:利用CST MWS仿真软件对118GHz频率选择表面以及183 GHz频率选择表面进行仿真,研究了它们的频率响应特性,以及线宽、周期长度、结构片厚度以及垫片厚度对频率响应曲线的影响。利用UV-LIGA加工技术对118 GHz频率选择表面和183 GHz频率选择表面进行加工,并对样品进行测试。利用扫描电子显微镜(scanning electron microscope,SEM)对样品进行测量,测量样品的线宽、周期长度以及结构片厚度。同时,利用近场扫描法测试118 GHz频率选择表面的传输特性和反射特性。经试验证明,在满足指标要求的情况下,利用UV-LIGA技术加工的样品具有良好的尺寸特性,样品侧壁陡直,并且118 GHz频率选择表面样品的线宽误差为±0.6μm;周期长度误差为±2μm;结构片厚度误差为±1μm。对于183 GHz频率选择表面而言,线宽误差为±2.7μm;周期长度误差为±2μm;结构片厚度误差为±1μm。