随着对自然界的研究,人们发现荷叶表面、蝴蝶翅膀、蛾类复眼等生物表面具有特殊的功能性微结构,导致生物表面具备特殊的光学性能和亲疏水等性能。因此,微结构的制备与应用是重要的研究方向。在制备微结构的技术中,纳米压印技术具备高通量,可控性高,可大面积制备等优点被广泛应用。纳米压印是利用机械力配合光学曝光的加工技术,由于加工方式的特殊性,容易造成微结构的破损从而影响微结构的精度。为了保证微结构形貌精度和尺寸精度,本文提出一种新型的振动辅助纳米压印方法。通过在压印过程中,引入低频低幅的一维横向振动提高光刻胶的填充率以及改善微结构表面形貌,减少缺陷。论文的主要研究内容包括:（1）提出一种新型振动辅助纳米压印方法。设计一种基于压电致动器驱动的振动辅助纳米压印装置,以达到在纳米压印加工过程中施加振动的目的。在装置设计过程中,考虑装置的刚度、运动行程、固有频率等要素。为了提高振动辅助纳米压印装置的稳定性,使用有限元仿真软件对振动辅助装置进行模态、应力和应变分析。最后,对装置进行加工并进行装置性能测试实验。（2）研究微结构减反膜抗反射原理,探讨微结构几何参数（深度、周期）与其表面反射率的对应关系。使用FDTD仿真软件研究微结构几何参数对其光学性能的影响规律,对微结构几何参数进行优化,得到反射率最佳的微结构几何参数。（3）阐述振动辅助纳米压印的原理,研究振动参数中振动幅值和振动频率对填充行为和填充应力的影响规律。研究引入振动后对光刻胶驱动方式的影响规律,建立压印过程的数学模型并验证在压印过程中引入振动的合理性。运用有限元分析法研究振动参数中振动幅值和振动频率对填充行为和填充应力的影响规律,明确最佳振动参数。（4）进行纳米压印实验,从实验角度验证纳米压印实验中引入振动的合理性。通过对比的方式,进行振动辅助纳米压印和传统纳米压印实验。对纳米压印实验制备的微结构进行几何形貌测量和亲疏水测试实验,研究微结构的几何参数对光学性能和亲疏水性能的影响规律。