目前,国内的臭氧发生器企业制造水平远远不能满足臭氧应用的需求,高频臭氧发生器的效率、可靠性等指标远落后于国外水平。针对上述存在的问题,本文对臭氧发生器负载特性、等效电路以及负载匹配进行了研究,并探讨了电源设计中的几个问题。首先,根据对介质阻挡放电(Dielectric Barrier Discharge, DBD)工作过程的分析,总结对比了两种负载等效电路,并探讨了电源初步设计及优化设计时的等效电路参数计算,在此基础上探讨了负载的阻抗匹配方案,确定了中型臭氧发生器中采用高漏抗变压器完成负载匹配的方案；其次,对比了几种逆变电源的电路拓扑结构和控制方式,采用直接产生脉宽调制信号的全桥逆变电路形式,探讨了几种电源的软起动方案优缺点,确定采用限流电阻软起动的方案,并对切除电压、限流时间和限流电阻进行了设计；再次,分析了常用的几种缓冲电路在臭氧发生器电源中的不足,将叠层母排结构方案应用于臭氧发生器电源缓冲电路中,解决了缓冲电容发热的问题,并设计了叠层母排参数,应用效果较明显；最后,探讨了臭氧发生器电源的电磁兼容(Electromagnetic Compatibility, EMC)问题,分析了电源中的电磁干扰源,并从滤波、屏蔽、接地三个方面介绍了干扰抑制措施,对臭氧发生器电源系统的接地进行了设计,提出采用混合接地的方式,反应器外壳、机壳为一组,电源隔离变压器、滤波器、电源板的参考地为一组,两组之间采用多点接地,每组内采用单点接地的方式。