压电薄层导波声学特性的测试理论与方法

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压电材料已经在工业生产和人民生活中发挥重大作用,而随着电子产业的迅猛发展和纳米技术的快速成长,压电材料的使用向着更小、更薄的方向前进。目前,用压电薄层或压电薄膜制成的传感器、谐振器和滤波器等器件已经进入大规模实用。当压电材料的尺寸缩小时,与体块材料不同,其声学性质会受边界条件影响而产生许多有趣的变化。目前,还没有一种表征压电薄层甚至是压电薄膜声学特性的行之有效的途径和方法。本论文以P5H压电陶瓷薄层为研究对象,对其声学性质进行理论和实验上的初步研究,为进一步研究压电薄膜材料声学性质打下一定的基础;另
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