在近几年浙江省经济发展过程中，外商直接投资正扮演着越来越重要的角色。国内外许多研究表明FDI不仅是经济增长的重要源泉，也是技术进步和技术效率改善的重要动力。随着人们越来越意识到到中国粗放式经济增长方式已经不可持续，而提高全要素生产率能够实现中国经济可持续增长。因此考察FDI能否促进浙江省全要素生产率的提高以及浙江省目前的区域生产率现状对更好的利用外资具有重要的理论和实践意义。　　 首先，本文应用了2002年到2010年浙江省11个地区的面板数据，使用随机前沿函数(SFA)方法对浙江省技术效率和技术进步率、全要素生产率以及它们的增长率进行实证分析，并考察了FDI对技术效率、技术进步进而全要素生产率的影响。其次利用DEA的马奎斯特方法测算了全要素生产率增长率并对其做了分解，并在此基础上分析了FDI对技术效率和技术进步率的影响；得到了的结论与随机前沿函数方法基本一致。根据上面的实证结果提出了如何更好的利用FDI的政策建议。本文的创新点在于首次利用随机前沿函数和DEA的马奎斯特指数两种方法对浙江省区域技术效率、技术进步和全要素生产率进行了计量分析，并做了比较研究。　　 本文的主要研究结论为：2002年到2010年浙江省技术效率和技术进步进而全要素生产率都呈增长趋势，总体上浙东北的技术效率高于浙西南，并且技术效率高的浙东北技术效率增长率反而较低。FDI对浙江省技术效率改善和技术进步具有显著促进作用。