使用有机材料制备的半导体器件因其具有成本价格便宜、加工温度低、能够实现大面积制备加工、可与柔性衬底集成等优点,被广泛的应用在有机薄膜晶体管、有机发光二极管、有机光伏电池等器件中。有机双极型晶体管现在已成为研究的热点,其在有机集成电路和柔性平板显示上都有着广阔的发展前景。由此我们开展了对有机异质结VOPc/C60双极型晶体管的制备和研究。本论文主要研究利用真空蒸镀技术制作双极型有机薄膜晶体管,研究VOPc膜厚及基底温度对有机薄膜晶体管特性的影响。我们通过对晶体管性能表征和测试数据的分析,得到在不同条件下器件性能的变化。通过实验我们成功的制备出了器件性能较好的有机异质结VOPc/C60双极型晶体管。分析了第一层薄膜层厚度和基底温度对双极型器件性能的影响,通过优化实验条件获得了载流子平衡的双极型器件。