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如何精确地测定薄膜的参数，一直是薄膜工作者非常关注的课题。在众多测量薄膜参数的方法中，透射光谱法备受人们的推崇。这主要是因为该方法具有测试简单、操作方便、测试范围广及精度高等诸多优点。然而制约该方法应用的瓶颈仍然是很难根据所测的光学量来直接求解薄膜的参数和令人头疼的解的多值性问题。 本论文就透射光谱法测量薄膜的参数进行了较为详细、系统地研究。用极其简单的形式给出了经电磁理论严格推导出来的透射率公式，该公式包含了影响透射光谱的大部分薄膜和基底的参数。提出了一种用透射光谱和模