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Pb(Zr,Ti)O3的居里温度高于大多数铁电材料,因此其电容器储能性能具有更高的温度稳定性,尤其位于准同型相界附近,Pb Zr0.52Ti0.48O3(PZT)的介电和压电达到最大值,具有优异的铁电性能。虽然PZT薄膜具有非常高的最大饱和极化强度Pmax,但是较高的剩余极化强度Pr和较低的的介电强度导致PZT薄膜的储能密度和效率难以获得理想的结果。本文在探索溶胶凝胶法制备PZT薄膜工艺基础上,试图通过元素掺杂、引入种子层和设计层状复合结构等手段来提高薄膜的(Pmax-Pr)值和击穿场强,从而提高薄