【摘 要】
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精确测定光学反射镜的反射率对于改进镀膜工艺、提高膜层质量具有重要意义。随着激光技术的发展,反射率的测定方法在不断发展,测量精度也不断提高。特别是近年来对光学复合膜反
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精确测定光学反射镜的反射率对于改进镀膜工艺、提高膜层质量具有重要意义。随着激光技术的发展,反射率的测定方法在不断发展,测量精度也不断提高。特别是近年来对光学复合膜反射率的测试要求以及光学参考腔对高反射率镜片的需求促进了反射率测定技术的发展。 本文围绕光学反射镜反射率的测量,从常用的反射率测定方法和本文提出的新方法两个方面展开讨论。 首先,介绍了几种常用的测量反射率方法的原理、特点和适用范围。 其次,引入激光相位调制技术,提出激光相位调制F-P腔精细度法,此法可以解决以往用F-P腔精细度法对谐振腔透射光谱线宽的测量精度不高的难题。详细介绍了这一新方法测定反射率的基本原理、实验装置;讨论了影响此方法测量反射率的精度的因素,并提出相应的改进方案。实验获得待测镜片的反射率,测量精度可达到10-4。 最后,对激光相位调制F-P腔精细度法的应用前景作了展望。
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