【摘 要】
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高精度的位移测量系统是机械、仪表、工具、兵器、宇航等产业获得位置精度的基础,也是上述产业产品及技术不断进步的制约因素。随着科技的高速发展,人们对位移测量的精确度、
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高精度的位移测量系统是机械、仪表、工具、兵器、宇航等产业获得位置精度的基础,也是上述产业产品及技术不断进步的制约因素。随着科技的高速发展,人们对位移测量的精确度、速度、稳定性能以及效率等方面有了更高的要求。本论文提出一种新的方法,本方法主要是通过悬梁臂探针扫描规则的二维光栅样品,通过PID前馈和反馈算法以及先进的神经元算法控制Z轴方向进行位移移动,对扫描完成的图像进行提取数据进行分析,通过峰值检测方法检测二维纳米光栅的每行以及每列的高低起伏波形的波峰或者波谷的个数以及每个周期的栅距,从而可以知道探针在XY平面移动的实际距离。
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