本课题采用称重法和质谱分析法,测量了水蒸气、氧气和二氧化碳等气体对OLED封装材料的渗透率。介绍了课题的背景、意义和研究现状,以及目前国内外OLED器件封装材料渗透率测量的有关研究。首先进行了称重法测量封装材料渗透率的研究,阐述了称重法的基本原理、影响测量的各种因素,设计和制作了称重法渗透率测量装置。对PET薄膜的水蒸汽渗透率进行了测量,对测量数据进行了计算和分析。其次介绍了质谱法测量封装材料渗透率的原理,以及封装材料气体渗透率质谱法测量系统的结构和原理。阐述了实验中要注意的事项,实验操作方法,实验数据的采集、计算和分析等。制作了薄膜材料的测试样品,测量了水蒸气、CO2、O2对PET薄膜、Ag薄膜、UV固化胶薄膜和环氧树脂薄膜的渗透率,获得了各种薄膜的渗透特性曲线。将质谱法测量所得的水蒸气对PET薄膜的渗透率数据与称重法获得的测量数据、以及其它文献报道的结果进行了比较,一致性较好,证明了质谱法测量OLED封装材料气体渗透率的可行性和有效性。最后对研究结果进行了总结,并对下一步要做的工作进行了阐述。