目前，NF3作为一种新型蚀刻气和清洗剂应用于微电子工业，需求量日益增加。　　 NF3分子有很强的红外线吸收能力及稳定性，其温室效应潜值是CO2的17200倍，存留时间约740年。2008年联合国环境大会上，NF3被列为限制排放的重要温室气体。　　 因此将工业过程排放的NF3废气转化为无害或低害物质是一项十分迫切的工作。　　 在课题组前期工作的基础上，本论文制备了较高表面积的Al2O3，用于NF3分解反应，以提高Al2O3的利用率，并考察了NF3在Co-Al复合氧化物上的分解反应，用XRD、N2物理吸附、FTIR、NH3-TPD、CO2-TPD等技术对反应前后的Al2O3和Co-Al复合氧化物脱氟剂进行了结构表征，得到了以下结论：　　 (1)采用溶胶凝胶法、溶胶凝胶结合超声处理法、沉淀结合超声处理法分别制得了比表面积较大的γ-Al2O3，与NF3 反应时表现出了较高的脱氟活性。　　 其中沉淀与超声技术相结合，以PEG-2000 作结构导向剂，加入适量Tween-60，600℃焙烧制得的中孔Al2O3 脱氟活性较高，NF3 全分解时间达580min，Al2O3 利用率约66[％]，显著高于现有文献报道的结果。　　 H3PO4、H2SO4分别处理沉淀结合超声技术制备的Al2O3，比表面积和脱氟活性均不及纯Al2O3。　　 (2)共沉淀法制备了Co/Al=0.05、0.1、0.5、1.0、1.5(原子比)的Co-Al 复合氧化物，随着Co/Al 比的增大，NF3 全转化时间逐渐缩短；Co/Al=0.05时，NF3 全转化时间为540min，脱氟活性不及纯Al2O3。　　 水滑石合成法制备了Co/Al=0.5～4(原子比)的Co-Al 复合氧化物，用于NF3分解反应时，随着Co/Al 比的增大，NF3 全转化时间逐渐缩短；Co/Al=0.1时NF3全转化时间为500min，脱氟活性高于钠离子碱沉淀法制备的纯Al2O3、Co3O4，但不及氨水沉淀结合超声处理法制备的Al2O3。